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第一百九十六章 无光刻雷射投影到光源蚀刻再到电子控制电路集成

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  “光束在自动调整密度!”

  只见投影光点正根据晶圆实时反馈,动態收缩边缘区域的亮度,避免过度曝光。

  “杨主管的算法在补偿曲面畸变。”

  “传统光刻做不到这种实时修正。”

  投影光束持续扫过晶圆。

  当最后一条光路轨跡隱没的瞬间,周瑶的终端弹出提示,投影编程完成。

  晶圆表面看似毫无变化,但郑飞光调出显微监测画面。

  一道比髮丝细万倍的浅层光敏纹路已烙印在硅基底上,如同冰面下的暗痕。

  杨辰的声音突然切入。

  “转蚀刻区。”

  他不知何时已站在蚀刻设备旁,手指悬在启动键上。

  这台方型机器外壳灰黑粗糲,唯一显眼的是顶部碗口大的石英窗口,內部隱约透出紫光。

  “光源充能!”

  郑飞光高喊著拉下隔离闸。

  设备內部传来蜂群振翅般的低频震动,窗口陡然迸发漩涡状紫色流光。