第一百九十六章 无光刻雷射投影到光源蚀刻再到电子控制电路集成
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  晶圆处理区的稳定运行声还在空气中微微震颤,观察窗內最后一轮拋光流程刚刚结束。
  郑飞光紧盯屏幕上跳动的参数。
  “应力分布达標,表面粗糙度0.2纳米——成了!”
  他猛地拍下停止键,熔炉缓缓熄火。
  张海生立刻操作机械臂,泛著金属冷光的45纳米晶圆被轻柔夹起,精准转移至隔壁的雷射微刻蚀系统工位。
  晶圆表面映出头顶无菌灯的倒影,光滑如镜。
  “启动投影编程!”
  郑飞光的声音带著紧绷的兴奋。
  周瑶同步在控制台输入指令,杨辰传来的光子通路三维模型瞬间加载完毕。
  嗡鸣声中,设备顶端的蓝色光源骤然亮起。
  没有实体掩膜板,只有一道悬浮在晶圆上方、由亿万个光点构成的立体神经网络图谱。
  那些交错的光路细如蛛丝,却清晰映射出光子微处理器的核心结构。
  “这就是无光刻?”
  张海生屏息盯著光网。
  某个新人忍不住低呼。