第153章 种子计划

  苏辰盯著那组数据，眉头微微皱起。

  “第七组呢？“

  “第七组更有意思。“沈志明的眼中闪过一丝兴奋，“我们在调整射频功率的时候，发现在某个特定的功率窗口——大约是標准功率的78%到82%之间——sf?的分解效率突然跳了一个台阶。刻蚀速率从4.2飆升到了5.1微米每分钟，而侧壁角度反而改善到了89.7度。“

  “5.1微米每分钟？“

  苏辰的眼睛猛地亮了。

  这个数字意味著什么——如果能稳定復现，那么drie的刻蚀效率將比当前的最优水平提升21%，同时精度还更高。

  “能稳定復现吗？“

  “目前还不能。“沈志明老实地回答，“我们只在第七组的特定条件下观察到了这个现象，后续重复实验中有时能復现有时不能。我怀疑和腔体內的气流场分布有关——在那个特定的功率窗口下，可能形成了某种有利於sf?分解的等离子体涡流结构。“

  “如果是气流场的问题……“苏辰沉思了片刻，然后走到白板前拿起了马克笔。

  “那就不只是功率的问题，而是腔体几何结构的问题。“

  他在白板上画了一个腔体的截面图：

  “我们现在的腔体是標准的圆柱形。如果在腔体侧壁增加一组导流槽——这里、这里、还有这里——“

  他快速画出了三个位置。

  “通过导流槽改变气流场的分布，人为地在腔体中心区域製造一个稳定的等离子体涡流——理论上就能让第七组的异常数据变成常態。“

  沈志明和陈国栋同时凑了过来。