第153章 种子计划
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  第190章 种子计划
  2020年11月7日,苏州。
  处理完轻甲事件后,苏辰按照原计划来到了苏州实验室。
  实验室位於苏州工业园区一栋不起眼的写字楼里,三层全包,500多平米。这是陈国栋在苏州搭建的drie验证平台,也是沈志明和四名前中微工程师的工作基地。
  苏辰到的时候,陈国栋和沈志明已经在等他了。
  “数据呢?“
  苏辰开门见山。
  沈志明递过来一叠列印出来的实验数据。这位四十岁出头的前中微工程师,做事风格极其严谨,所有数据都標註了时间、温度、气压等环境参数。
  “这是上个月的等离子体密度测试数据。“
  苏辰翻开数据,目光扫过那些密密麻麻的数字。
  sf?刻蚀速率4.2微米每分钟。侧壁角度89.3度。等离子体密度达標。
  这些数据他之前就知道了。但沈志明说的“数据异常“在哪?
  “异常数据在第三组和第七组。“
  沈志明翻到了標註红色的两页。
  “在第三组实验中,我们发现等离子体密度在腔体中心区域出现了一个异常的峰值——比理论预测值高了18%。我们一开始以为是测量误差,但重复了三次实验后,这个峰值依然存在。“