第136章 开山

  一个没有等离子体物理背景的企业家，却能准確地指出哪组参数是对的、哪组参数是错的。

  有时候，陈国栋和刘国强花了三天时间计算出来的一组等离子体刻蚀参数，苏辰看了一眼就驳回了。

  “基台温度的波动范围太大。‐40c到-20c”这个区间会导致刻蚀轮廓不均匀。把区间收窄到‐35c到-30c”，然后重新算一遍。“

  陈国栋当时的表情很微妙。

  他做drie三十年了，对基台温度和刻蚀轮廓的关係瞭然於胸。但苏辰给出的那个区间——‐35c到-30c”——恰好是他凭经验估算的最优区间。

  一个没有实操经验的人，怎么可能知道这个？

  类似的情况一再发生。

  苏辰会在某个真空室的材料选择上给出意见——“不要用316l不锈钢，换成铝合金。7075-t6就行。强度够用，而且加工成本低40%。“

  赵建成的反应是：“铝合金在高温等离子体环境下会不会有腐蚀问题？“

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  苏辰回覆：“我们的刻蚀气体以sf6为主，对铝合金的腐蚀性很低。而且我们的真空室工作温度不会超过200c，铝合金完全能承受。“

  赵建成沉默了。

  因为苏辰说的每一个技术细节都是对的。

  他不知道苏辰是怎么知道这些的——但事实就是事实。

  苏辰对drie的理解，深到了不科学的地步。