第183章 华夏芯谷28nm量產

  “我立刻组织刻蚀和cmp的负责人开会。另外，我们自研的『曙光二號』光刻胶，在缺陷控制上虽然稳定，但曝光宽容度相比进口產品还是偏窄，对光刻机的稳定性提出了更高要求。『钥匙小组』的压力很大。”

  正如梁志远所言，“钥匙小组”的工程师们正二十四小时轮班，守护著那些“娇贵”的光刻机。

  没有原厂技术支持，每一次微小的故障都可能引发產线的连锁反应。

  一位资深工程师甚至打趣道，他们现在对这几台阿斯莫光刻机的“脾气”了解，恐怕比阿斯莫自己的某些工程师还要透彻。

  “虚擬量测和先进工艺控制系统必须儘快上线。”

  林薇在每日的攻坚例会上强调，

  “我们不能等到晶圆走完全部工序才知道好坏。要通过在线检测数据，实时预测並调整工艺参数，將缺陷扼杀在萌芽状態。赵静，你们的ai模型优化得怎么样了？”

  通过加密视频参会的赵静立刻回应：

  “『小芯』工业ai的预测模型已经叠代到第5版，对cmp后膜厚和刻蚀关键尺寸的预测准確率提升了15%。但我们还需要產线提供更多、更高质量的闭环数据来训练模型，尤其是缺陷分类和根因分析的数据。”

  “数据会给到你。”

  林薇斩钉截铁，

  “从现在起，所有异常批次，必须进行彻查，建立完整的『病歷档案』。我们要用数据驱动，代替过去的经验驱动。”

  攻坚在无数个细节的打磨中推进。

  良率的提升不再是之前那种跨越式的飞跃，而是以每周0.5%、甚至0.2%的幅度，艰难地向上蠕动。72.1%……73.8%……75.0%……每一次微小的进步，都凝聚著整个团队的心血。

  车间里，咖啡和功能饮料的消耗量达到了顶峰，很多人以厂为家，休息室的行军床上总是躺满了和衣而臥的工程师。